東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，通過(guò)靈活的參數(shù)調(diào)控實(shí)現(xiàn)多場(chǎng)景工藝適配。RPS 設(shè)備可調(diào)節(jié)射頻功率、氣體配比、反應(yīng)時(shí)間等關(guān)鍵參數(shù)，針對(duì)不同材料與加工需求定制工藝方案。在半導(dǎo)體刻蝕工藝中，RPS 通過(guò)優(yōu)化 CF?/O?氣體配比，實(shí)現(xiàn) SiO?與 SiN 的高選擇性刻蝕；在工藝腔體清潔中，RPS 調(diào)節(jié) NF3/O2 比例，確保污染物徹底去除且不損傷腔室表面。RPS 配備智能控制系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體密度、自由基濃度等關(guān)鍵指標(biāo)，根據(jù)反饋?zhàn)詣?dòng)調(diào)整參數(shù)，維持工藝穩(wěn)定性。通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，客戶可快速調(diào)用適配方案。該 RPS 設(shè)備的參數(shù)調(diào)控精度高、響應(yīng)速度快，能夠滿足半導(dǎo)體、電子制造等領(lǐng)域的復(fù)雜工藝需求，成為高精度加工的中心 RPS 裝備。RPS利用原子的高活性強(qiáng)氧化特性，達(dá)到清洗CVD或其他腔室后生產(chǎn)工藝的目的。北京遠(yuǎn)程等離子電源RPS等離子體電源

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，憑借超高精度成為**設(shè)備制造的中心檢測(cè)工具。**設(shè)備零部件對(duì)尺寸精度與表面質(zhì)量要求嚴(yán)苛，RPS 設(shè)備的測(cè)量精度可達(dá) 0.005mm，平均采樣點(diǎn)距低至 0.03mm，能夠精細(xì)捕捉復(fù)雜曲面的細(xì)微特征。RPS 采用藍(lán)光窄帶光源，抗干擾能力強(qiáng)，可有效避免環(huán)境光線對(duì)掃描結(jié)果的影響，確保數(shù)據(jù)真實(shí)性。在**設(shè)備研發(fā)階段，RPS 可快速掃描樣品，生成三維數(shù)據(jù)用于設(shè)計(jì)優(yōu)化與功能性測(cè)試；在量產(chǎn)環(huán)節(jié)，RPS 通過(guò)快速批量掃描實(shí)現(xiàn)零部件質(zhì)量篩查，及時(shí)發(fā)現(xiàn)尺寸偏差。該 RPS 設(shè)備支持多種數(shù)據(jù)格式輸出，可與**設(shè)備設(shè)計(jì)軟件無(wú)縫對(duì)接，加速產(chǎn)品研發(fā)周期。目前，RPS 已應(yīng)用于手術(shù)器械、植入體等關(guān)鍵**部件的制造檢測(cè)，為**設(shè)備的**性與可靠性提供了有力的 RPS 技術(shù)保障。安徽遠(yuǎn)程等離子電源RPS石英舟處理遠(yuǎn)程等離子體源（Remote Plasma Source，RPS）是一種用于產(chǎn)生等離子體的裝置。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的RPS定位技術(shù)，向智慧農(nóng)業(yè)領(lǐng)域拓展，實(shí)現(xiàn)農(nóng)業(yè)生產(chǎn)的精細(xì)管控。在大型溫室大棚中，RPS可定位農(nóng)業(yè)機(jī)器人、灌溉設(shè)備的實(shí)時(shí)位置，引導(dǎo)機(jī)器人精細(xì)完成播種、施肥、采摘等作業(yè)，定位誤差控制在±5cm以內(nèi)。通過(guò)RPS定位與傳感器數(shù)據(jù)融合，可實(shí)現(xiàn)灌溉設(shè)備根據(jù)作物位置精細(xì)供水，避免水資源浪費(fèi)，使灌溉效率提升30%。在畜禽養(yǎng)殖場(chǎng)景中，RPS可定位養(yǎng)殖設(shè)備與牲畜位置，監(jiān)測(cè)牲畜活動(dòng)軌跡，及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況。RPS定位系統(tǒng)具備低功耗特性，適配農(nóng)業(yè)戶外場(chǎng)景的長(zhǎng)期使用需求，且抗粉塵、抗潮濕能力突出。該RPS智慧農(nóng)業(yè)方案已在多個(gè)現(xiàn)代化農(nóng)場(chǎng)落地，幫助農(nóng)戶降低生產(chǎn)成本，提升農(nóng)產(chǎn)品產(chǎn)量與質(zhì)量，成為智慧農(nóng)業(yè)發(fā)展的重要RPS技術(shù)支撐。

在汽車(chē)制造業(yè)中，RPS（基準(zhǔn)點(diǎn)系統(tǒng)）是保障零部件裝配一致性的中心標(biāo)準(zhǔn)，東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 檢測(cè)方案已廣泛應(yīng)用于行業(yè)。RPS 遵循 “3-2-1 定位原則”，通過(guò) 3 個(gè)主定位點(diǎn)和若干輔助定位點(diǎn)限制零部件 6 個(gè)自由度，確保設(shè)計(jì)、制造、檢測(cè)全流程定位統(tǒng)一。晟鼎精密的 RPS 檢測(cè)設(shè)備支持接觸式與非接觸式雙重檢測(cè)模式，接觸式通過(guò)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)獲取 RPS 定位點(diǎn)實(shí)際坐標(biāo)，非接觸式則利用激光掃描快速采集三維數(shù)據(jù)，兩種方式均能精細(xì)輸出偏差報(bào)告。該 RPS 方案的檢具定位元件制造精度達(dá)到零部件公差的 1/3~1/5，銷釘間距公差≤±0.03mm，定位面平面度≤0.02mm。通過(guò) RPS 系統(tǒng)檢測(cè)，可有效避免車(chē)身間隙不均勻、零部件干涉等問(wèn)題，目前已成功應(yīng)用于車(chē)身骨架、底盤(pán)件、車(chē)門(mén)等關(guān)鍵零部件生產(chǎn)，成為汽車(chē)行業(yè)高精度檢測(cè)的中心 RPS 技術(shù)支撐。晟鼎RPS自研PEO表面處理工藝，增加PEO膜層使用壽命，降低維護(hù)成本。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，憑借較強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)性與高精度，成功應(yīng)用于航空航天零部件制造。航空航天零部件多為復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu)，尺寸精度要求極高，RPS 設(shè)備支持 3 組 9 個(gè)高分辨率鏡頭切換，可覆蓋不同規(guī)格零部件的掃描需求。RPS 采用同步觸發(fā)驅(qū)動(dòng)技術(shù)，投光采集時(shí)間短，掃描效率高，單幅測(cè)量時(shí)間≤1.5 秒，能快速完成大型零部件的全尺寸掃描。在數(shù)據(jù)處理上，RPS 通過(guò)多核多線程高速算法與 GPU 加速，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)云數(shù)據(jù)的快速重建與噪聲處理，生成高精度三維模型。該 RPS 設(shè)備可承受航空航天制造車(chē)間的復(fù)雜環(huán)境，抗震動(dòng)、抗干擾能力突出，測(cè)量精度穩(wěn)定在 0.01mm 以內(nèi)。目前，RPS 已應(yīng)用于飛機(jī)結(jié)構(gòu)件、發(fā)動(dòng)機(jī)零部件等關(guān)鍵部件的制造檢測(cè)，為航空航天產(chǎn)品的**性提供了可靠的 RPS 技術(shù)保障。半導(dǎo)體和電子薄膜應(yīng)用使用等離子體源產(chǎn)生低能離子和自由基。北京遠(yuǎn)程等離子電源RPS等離子體電源

為器官芯片制造提供細(xì)胞培養(yǎng)基底功能化。北京遠(yuǎn)程等離子電源RPS等離子體電源

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，針對(duì)第三代半導(dǎo)體（GaN、SiC）的加工特性進(jìn)行了專項(xiàng)優(yōu)化，成為該領(lǐng)域的中心加工設(shè)備。第三代半導(dǎo)體材料硬度高、脆性大，傳統(tǒng)加工方式易產(chǎn)生表面損傷，RPS 通過(guò)中性自由基反應(yīng)實(shí)現(xiàn)低損傷加工，避免表面微裂紋的產(chǎn)生。RPS 可精細(xì)控制工藝參數(shù)，適配 GaN、SiC 等材料的刻蝕與清潔需求，在保證加工精度的同時(shí)，比較大限度保護(hù)材料原有性能。在第三代半導(dǎo)體器件制造中，RPS 的高選擇性刻蝕能力可實(shí)現(xiàn)不同材料層的精細(xì)分離，高深寬比加工能力滿足器件微型化需求。該 RPS 設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，工藝重復(fù)性強(qiáng)，可滿足第三代半導(dǎo)體量產(chǎn)需求，目前已應(yīng)用于功率器件、射頻器件等產(chǎn)品的制造，為第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了關(guān)鍵的 RPS 技術(shù)支撐。北京遠(yuǎn)程等離子電源RPS等離子體電源