東莞市晟鼎精密儀器有限公司推出的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源，是半導(dǎo)體先進(jìn)制程中的關(guān)鍵中心設(shè)備。RPS 采用電感耦合等離子體技術(shù)，通過單獨(dú)腔室生成高密度等離子體，經(jīng)遠(yuǎn)程傳輸區(qū)篩選后，只讓中性自由基進(jìn)入主工藝腔，從根源避免離子轟擊對晶圓的物理損傷。在 5nm 以下節(jié)點(diǎn)芯片制造中，RPS 展現(xiàn)出優(yōu)越的工藝適配性，無論是 FinFET 還是 GAA 晶體管加工，都能精細(xì)控制側(cè)壁粗糙度與晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O?、NF?等多種工藝氣體配比調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn) SiO?與 SiN 的刻蝕選擇比超過 100:1，滿足高深寬比通孔的均勻加工需求。晟鼎精密的 RPS 設(shè)備在 300mm 晶圓處理中，能將刻蝕均勻性控制在 ±2% 以內(nèi)，長時間運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)，為半導(dǎo)體量產(chǎn)提供可靠保障，成為邏輯芯片、存儲器件制造中的推薦 RPS 解決方案。遠(yuǎn)程等離子體源RPS的主要優(yōu)點(diǎn)在于它可以實(shí)現(xiàn)對表面的均勻處理，因此減少了對表面的熱和化學(xué)損傷。福建半導(dǎo)體RPS生產(chǎn)廠家

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，為機(jī)器人零部件制造提供了多方位的精度把控方案。機(jī)器人零部件的尺寸精度與裝配精度直接影響機(jī)器人的運(yùn)動性能，RPS 設(shè)備的測量精度可達(dá) 0.01mm，能夠精細(xì)檢測齒輪、關(guān)節(jié)等關(guān)鍵零部件的尺寸偏差。RPS 支持快速批量掃描，可在短時間內(nèi)完成大量零部件的質(zhì)量篩查，提高生產(chǎn)效率。在機(jī)器人研發(fā)階段，RPS 可掃描競品零部件，獲取三維數(shù)據(jù)用于設(shè)計參考；在量產(chǎn)階段，RPS 通過實(shí)時檢測及時調(diào)整生產(chǎn)工藝，確保零部件質(zhì)量一致性。該 RPS 設(shè)備可與機(jī)器人設(shè)計軟件無縫對接，生成的三維數(shù)據(jù)可直接用于設(shè)計優(yōu)化與仿真分析。目前，RPS 已應(yīng)用于工業(yè)機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人等產(chǎn)品的制造檢測，成為機(jī)器人產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的中心 RPS 技術(shù)支撐。山東pecvd腔室遠(yuǎn)程等離子源RPS石英舟腔體清洗RPS利用原子的高活性強(qiáng)氧化特性，達(dá)到清洗CVD或其他腔室后生產(chǎn)工藝的目的。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 定位技術(shù)，為增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）應(yīng)用提供了高精度的位置信息支撐。AR 應(yīng)用對定位精度要求嚴(yán)苛，RPS 通過 Wi-Fi 指紋定位、室內(nèi)地圖定位等多種技術(shù)融合，實(shí)現(xiàn)厘米級定位精度，確保虛擬物體與現(xiàn)實(shí)場景的精細(xì)疊加。在 AR 導(dǎo)航、AR 工業(yè)維修等場景中，RPS 可實(shí)時更新用戶位置信息，保障虛擬指引與實(shí)際環(huán)境的一致性；在 AR 娛樂應(yīng)用中，RPS 快速的定位響應(yīng)速度提升了用戶交互體驗(yàn)。晟鼎精密的 RPS 定位系統(tǒng)具備良好的兼容性，可與多種 AR 設(shè)備與平臺對接，支持多用戶同時定位。通過持續(xù)優(yōu)化定位算法，RPS 在復(fù)雜環(huán)境中的定位穩(wěn)定性不斷提升，為 AR 技術(shù)的商業(yè)化應(yīng)用提供了可靠的 RPS 技術(shù)基礎(chǔ)。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，憑借多維度技術(shù)突破成為精密測量領(lǐng)域的榜樣產(chǎn)品。該 RPS 設(shè)備搭載雙目 500 萬像素工業(yè)相機(jī)，配合 3 組 9 個高分辨率鏡頭，可通過鏡頭切換實(shí)現(xiàn) 420×240mm? 至 90×52mm? 的多范圍掃描，無需調(diào)節(jié)工作距離即可保證比較好掃描效果。RPS 采用藍(lán)光窄帶光源與格雷碼、多頻外差法雙光柵模式，抗干擾能力強(qiáng)，即使在復(fù)雜環(huán)境下也能精細(xì)捕捉細(xì)節(jié)。在掃描效率上，RPS 單幅測量時間≤1.5 秒，結(jié)合多核多線程高速算法與 GPU 加速，數(shù)據(jù)三維重建速度大幅提升。RPS 支持標(biāo)志點(diǎn)全自動拼接、特征拼接等多種拼接模式，拼接后自動報告精度，全局誤差控制能力突出。該 RPS 設(shè)備可兼容 CATIA、Geomagic 等主流三維軟件，數(shù)據(jù)輸出格式豐富，廣泛應(yīng)用于智能裝備、機(jī)器人、**設(shè)備等領(lǐng)域的精密測量需求。在傳感器制造中實(shí)現(xiàn)敏感薄膜的均勻沉積。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，在技術(shù)創(chuàng)新的同時注重環(huán)保與節(jié)能設(shè)計，符合綠色制造發(fā)展趨勢。RPS 設(shè)備采用高效的氣體利用技術(shù)，減少工藝氣體的消耗與浪費(fèi)，降低污染物排放；在等離子體生成過程中，通過精細(xì)的能量控制，提高能源利用效率，降低運(yùn)行能耗。RPS 設(shè)備的工藝氣體可根據(jù)加工需求精細(xì)配比，避免過量氣體使用導(dǎo)致的環(huán)境污染；設(shè)備運(yùn)行過程中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過專門處理后再排放，符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。在節(jié)能方面，RPS 設(shè)備具備智能休眠功能，在閑置時自動降低能耗；中心部件的低功耗設(shè)計進(jìn)一步減少了能源消耗。該 RPS 設(shè)備通過了多項(xiàng)環(huán)保與節(jié)能認(rèn)證，成為半導(dǎo)體、電子制造等領(lǐng)域綠色生產(chǎn)的推薦 RPS 裝備。適用于生物芯片微流道表面的親水化改性處理。福建遠(yuǎn)程等離子源RPS客服電話

用于太赫茲器件的超精密清洗。福建半導(dǎo)體RPS生產(chǎn)廠家

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，在保證高精度的同時，具備操作便捷、維護(hù)簡單的明顯優(yōu)勢。RPS 設(shè)備采用人性化設(shè)計，配備直觀的操作界面，操作人員經(jīng)過簡單培訓(xùn)即可上手操作。設(shè)備支持多種掃描模式一鍵切換，掃描參數(shù)可自動適配不同材質(zhì)與顏色的掃描對象，降低操作難度。在維護(hù)方面，RPS 設(shè)備的中心部件采用模塊化設(shè)計，更換便捷，減少維護(hù)時間；設(shè)備自帶校準(zhǔn)標(biāo)定引導(dǎo)功能，指引操作者正確進(jìn)行校準(zhǔn)調(diào)節(jié)，避免不規(guī)范操作帶來的影響。RPS 設(shè)備的便攜式三角架承重達(dá) 10KG，移動靈活，可適應(yīng)不同工作場景的使用需求。該 RPS 設(shè)備的平均無故障運(yùn)行時間長，維護(hù)成本低，為用戶帶來了高效、經(jīng)濟(jì)的使用體驗(yàn)，成為精密測量領(lǐng)域的熱門 RPS 產(chǎn)品。福建半導(dǎo)體RPS生產(chǎn)廠家