東莞市晟鼎精密儀器有限公司研發(fā)的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源 SPR-08，為半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體清潔提供原子級(jí)解決方案。該 RPS 設(shè)備基于電感耦合等離子體技術(shù)，通過交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用解離 NF3/O2 等工藝氣體，釋放出高活性自由基，與工藝腔室內(nèi)沉積的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等殘余氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，聚合為氣態(tài)分子后經(jīng)真空泵組抽出。RPS 的中心優(yōu)勢(shì)在于實(shí)現(xiàn)等離子體生成區(qū)與主工藝腔的物理隔離，避免離子轟擊造成的腔室損傷，同時(shí)保證清潔徹底性。在 5nm 以下先進(jìn)制程中，RPS 清潔技術(shù)可有效去除光刻膠殘留與微小污染物，確保腔室潔凈度滿足高精度加工要求。RPS 設(shè)備操作便捷，維護(hù)簡(jiǎn)單，運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)，可適配不同規(guī)格半導(dǎo)體工藝腔體，目前已成為半導(dǎo)體制造企業(yè)提升產(chǎn)能與產(chǎn)品良率的關(guān)鍵 RPS 設(shè)備。使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用下，原材料氣體會(huì)被解離，從而釋放出自由基。北京推薦RPS技術(shù)指導(dǎo)

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，憑借快速批量檢測(cè)能力，成為消費(fèi)電子制造行業(yè)的中心質(zhì)量控制工具。消費(fèi)電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，批量大，對(duì)檢測(cè)效率要求高，RPS 設(shè)備單幅測(cè)量時(shí)間≤1.5 秒，結(jié)合全自動(dòng)拼接技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)零部件的快速批量掃描檢測(cè)。RPS 設(shè)備的測(cè)量精度可達(dá) 0.01mm，能夠滿足消費(fèi)電子零部件的高精度檢測(cè)需求，如手機(jī)外殼、攝像頭模組等。在生產(chǎn)線上，RPS 檢測(cè)設(shè)備可與自動(dòng)化生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)零部件的在線檢測(cè)，及時(shí)剔除不合格產(chǎn)品，避免批量質(zhì)量問題。該 RPS 批量檢測(cè)方案已應(yīng)用于多家前端消費(fèi)電子企業(yè)，幫助企業(yè)提升生產(chǎn)效率，降低質(zhì)量成本，成為消費(fèi)電子制造行業(yè)的推薦 RPS 檢測(cè)設(shè)備。北京半導(dǎo)體RPS哪家強(qiáng)為先進(jìn)封裝提供TSV通孔和鍵合界面的精密清洗。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 定位技術(shù)，在智慧園區(qū)建設(shè)中得到綜合應(yīng)用，提升園區(qū)管理效率與智能化水平。在智慧園區(qū)中，RPS 可實(shí)現(xiàn)人員、車輛、設(shè)備的實(shí)時(shí)定位管理，通過終端設(shè)備可快速查詢目標(biāo)位置，提升調(diào)度效率；在安防領(lǐng)域，RPS 可監(jiān)測(cè)人員進(jìn)出權(quán)限，實(shí)現(xiàn)區(qū)域入侵報(bào)警，提升園區(qū)**性。RPS 定位技術(shù)與園區(qū)物聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)聯(lián)動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)能耗管理、環(huán)境監(jiān)測(cè)等功能的智能觸發(fā)，如根據(jù)人員分布調(diào)節(jié)照明、空調(diào)等設(shè)備。該 RPS 智慧園區(qū)解決方案具備良好的擴(kuò)展性，可根據(jù)園區(qū)規(guī)模與需求進(jìn)行功能升級(jí)；通過大數(shù)據(jù)分析，可優(yōu)化園區(qū)資源配置，降低運(yùn)營(yíng)成本。目前，RPS 定位技術(shù)已應(yīng)用于多個(gè)智慧園區(qū)項(xiàng)目，成為園區(qū)智能化建設(shè)的中心 RPS 技術(shù)支撐。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 檢具檢測(cè)系統(tǒng)，具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)智能化分析能力，為企業(yè)質(zhì)量控制提供數(shù)據(jù)支撐。RPS 檢測(cè)設(shè)備可自動(dòng)采集定位點(diǎn)偏差、平面度、孔位精度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，生成詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告與 CPK 趨勢(shì)圖，直觀反映生產(chǎn)質(zhì)量狀況。通過與大數(shù)據(jù)分析平臺(tái)聯(lián)動(dòng)，RPS 檢測(cè)數(shù)據(jù)可用于生產(chǎn)工藝優(yōu)化，識(shí)別導(dǎo)致偏差的關(guān)鍵因素，指導(dǎo)生產(chǎn)參數(shù)調(diào)整。RPS 系統(tǒng)支持歷史數(shù)據(jù)追溯，可查詢不同批次產(chǎn)品的檢測(cè)記錄，為質(zhì)量問題排查提供依據(jù)。利用機(jī)器學(xué)習(xí)算法，RPS 可建立定位偏差預(yù)測(cè)模型，根據(jù)前序檢測(cè)數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)后續(xù)產(chǎn)品的質(zhì)量趨勢(shì)，實(shí)現(xiàn)預(yù)防性質(zhì)量控制。該 RPS 數(shù)據(jù)智能化分析方案已應(yīng)用于多家制造企業(yè)，幫助企業(yè)提升生產(chǎn)穩(wěn)定性與產(chǎn)品合格率，成為智能制造的中心 RPS 數(shù)據(jù)工具。RPS遠(yuǎn)程等離子源是一款基于電感耦合等離子體技術(shù)的自成一體的原子發(fā)生器。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的RPS遠(yuǎn)程等離子體源，在光伏電池鈍化工藝中實(shí)現(xiàn)重大突破，助力光伏產(chǎn)業(yè)提升發(fā)電效率。鈍化工藝是提升光伏電池開路電壓與填充因子的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，RPS通過精細(xì)控制等離子體參數(shù)，在電池表面形成高質(zhì)量鈍化層，有效減少載流子復(fù)合。與傳統(tǒng)鈍化技術(shù)相比，RPS處理后的鈍化層均勻性更好，表面態(tài)密度降低30%以上，使電池轉(zhuǎn)換效率提升0.5%-1%。RPS支持大尺寸硅片加工，可適配182mm、210mm等主流硅片規(guī)格，單臺(tái)設(shè)備每小時(shí)可處理2000片以上硅片，滿足光伏產(chǎn)業(yè)量產(chǎn)需求。在成本控制方面，RPS通過優(yōu)化氣體配比與能量利用，使單位硅片處理成本降低15%。目前，該RPS鈍化方案已被多家光伏企業(yè)采用，成為提升光伏電池性能的中心RPS裝備。適用于特種材料科研開發(fā)的超真空表面處理。安徽遠(yuǎn)程等離子體源RPS型號(hào)

用于超硬涂層沉積前的表面活化。北京推薦RPS技術(shù)指導(dǎo)

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，突破半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用局限，向多個(gè)行業(yè)拓展，展現(xiàn)出寬泛的適用性。在電子制造行業(yè)，RPS 用于電路板的精密清洗，去除表面殘留污染物，提升電路性能；在新能源行業(yè)，RPS 用于光伏電池的表面處理，增強(qiáng)光吸收能力，提高轉(zhuǎn)換效率；在**器械行業(yè)，RPS 用于植入體的表面改性，提升生物相容性。RPS 設(shè)備可根據(jù)不同行業(yè)的加工需求，調(diào)整工藝參數(shù)與氣體配比，實(shí)現(xiàn)定制化加工。晟鼎精密針對(duì)不同行業(yè)推出了特用 RPS 解決方案，配備相應(yīng)的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)與操作規(guī)范，幫助客戶快速上手使用。該 RPS 多行業(yè)應(yīng)用方案已獲得多個(gè)行業(yè)客戶的認(rèn)可，成為跨領(lǐng)域高精度加工的中心 RPS 設(shè)備。北京推薦RPS技術(shù)指導(dǎo)