借鑒晶圓鍵合工藝的技術(shù)需求，國瑞熱控鍵合**加熱盤創(chuàng)新采用真空吸附與彈簧壓塊復(fù)合結(jié)構(gòu)，通過彈簧壓力限制加熱平臺(tái)受熱膨脹，高溫下表面平整度誤差控制在0.02mm以內(nèi)！加熱盤主體采用因瓦合金與氮化鋁復(fù)合基材，兼具低熱膨脹系數(shù)與高導(dǎo)熱性，溫度均勻性達(dá)±1.5℃，適配室溫至450℃的鍵合溫度需求！底部設(shè)計(jì)雙層隔熱結(jié)構(gòu)，***層阻隔熱量向下傳導(dǎo)，第二層快速散熱避免設(shè)備腔體溫升過高！配備精細(xì)壓力控制模塊，可根據(jù)鍵合類型調(diào)整吸附力，在硅-硅直接鍵合、金屬鍵合等工藝中確保界面貼合緊密，提升鍵合良率！加熱盤及配套一站式，省時(shí)省心，長期可信賴供應(yīng)商。上海半導(dǎo)體晶圓加熱盤

國瑞熱控深耕半導(dǎo)體加熱盤國產(chǎn)化研發(fā)，針對(duì)進(jìn)口設(shè)備的技術(shù)壁壘與供應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)，推出全套替代方案！方案涵蓋6英寸至12英寸不同規(guī)格加熱盤，材質(zhì)包括鋁合金、氮化鋁陶瓷等，可直接替換Kyocera、CoorsTek等國際品牌同型號(hào)產(chǎn)品，且在溫度均勻性、控溫精度等關(guān)鍵指標(biāo)上達(dá)到同等水平！通過與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的聯(lián)合開發(fā)，實(shí)現(xiàn)加熱盤與國產(chǎn)設(shè)備的深度適配，解決進(jìn)口產(chǎn)品安裝調(diào)試復(fù)雜、售后服務(wù)滯后等問題！替代方案不僅在采購成本上較進(jìn)口產(chǎn)品降低30%以上，且交貨周期縮短至45天以內(nèi)，大幅提升供應(yīng)鏈穩(wěn)定性！已為國內(nèi)多家半導(dǎo)體制造企業(yè)提供國產(chǎn)化替代服務(wù)，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控，推動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展！北京高精度均溫加熱盤非標(biāo)定制精密溫控系統(tǒng)加持，溫度波動(dòng)范圍小，為科研實(shí)驗(yàn)提供可靠熱源保障。

在半導(dǎo)體離子注入工藝中，國瑞熱控配套加熱盤以穩(wěn)定溫控助力摻雜濃度精細(xì)控制！其采用耐高溫合金基材，經(jīng)真空退火處理消除內(nèi)部應(yīng)力，可在400℃高溫下長期穩(wěn)定運(yùn)行而不變形！加熱盤表面噴涂絕緣耐離子轟擊涂層，避免電荷積累對(duì)注入精度的干擾，同時(shí)具備優(yōu)良的導(dǎo)熱性能，能快速將晶圓預(yù)熱至設(shè)定溫度并保持恒定！設(shè)備配備雙路溫度監(jiān)測系統(tǒng)，分別監(jiān)控加熱元件與晶圓表面溫度，當(dāng)出現(xiàn)偏差時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)制，溫度控制精度達(dá)±1℃！適配不同型號(hào)離子注入機(jī)，通過標(biāo)準(zhǔn)化接口實(shí)現(xiàn)快速安裝，為半導(dǎo)體摻雜工藝的穩(wěn)定性與重復(fù)性提供有力支持！

針對(duì)等離子體刻蝕環(huán)境的特殊性，國瑞熱控配套加熱盤采用藍(lán)寶石覆層與氮化鋁基底的復(fù)合結(jié)構(gòu)，表面硬度達(dá)莫氏9級(jí)，可耐受等離子體長期轟擊而無材料脫落！加熱盤內(nèi)部嵌入鉬制加熱絲，經(jīng)后嵌工藝固定，避免高溫下電極氧化影響加熱性能，工作溫度范圍覆蓋室溫至500℃，控溫精度±1℃！底部設(shè)計(jì)環(huán)形冷卻通道，與加熱元件形成熱平衡調(diào)節(jié)系統(tǒng)，快速響應(yīng)刻蝕過程中的溫度波動(dòng)！設(shè)備采用全密封結(jié)構(gòu)，電氣強(qiáng)度達(dá)2000V/1min，在氟基、氯基刻蝕氣體環(huán)境中絕緣性能穩(wěn)定，適配中微半導(dǎo)體刻蝕機(jī)等主流設(shè)備，為圖形轉(zhuǎn)移工藝提供可靠溫控！持續(xù)改進(jìn)服務(wù)理念，聽取客戶反饋，不斷提升產(chǎn)品性能。

國瑞熱控推出半導(dǎo)體加熱盤**溫度監(jiān)控軟件，實(shí)現(xiàn)加熱過程的數(shù)字化管理與精細(xì)控制！軟件具備實(shí)時(shí)溫度顯示功能，可通過圖表直觀呈現(xiàn)加熱盤各區(qū)域溫度變化曲線，支持多臺(tái)加熱盤同時(shí)監(jiān)控，方便生產(chǎn)線集中管理！內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與導(dǎo)出功能，可自動(dòng)記錄加熱過程中的溫度參數(shù)，存儲(chǔ)時(shí)間長達(dá)1年，便于工藝追溯與質(zhì)量分析！具備溫度異常報(bào)警功能，當(dāng)加熱盤溫度超出設(shè)定范圍或出現(xiàn)波動(dòng)異常時(shí)，自動(dòng)發(fā)出聲光報(bào)警并記錄異常信息，提醒操作人員及時(shí)處理！軟件兼容Windows與Linux操作系統(tǒng)，通過以太網(wǎng)與加熱盤控制系統(tǒng)連接，安裝調(diào)試便捷，適配國瑞全系列半導(dǎo)體加熱盤，為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的智能化管理提供技術(shù)支持！個(gè)性化定制服務(wù)，根據(jù)工藝需求特殊設(shè)計(jì)，完美匹配應(yīng)用。靜安區(qū)陶瓷加熱盤

密封式設(shè)計(jì)防潮防塵耐腐蝕，適用于復(fù)雜環(huán)境特殊氣氛。上海半導(dǎo)體晶圓加熱盤

針對(duì)半導(dǎo)體濕法工藝中溶液溫度控制需求，國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)電解拋光與鈍化處理，可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕！加熱盤內(nèi)置密封式加熱元件，與溶液完全隔離，避免漏電風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)具備1500V/1min的電氣強(qiáng)度，使用**可靠！通過底部加熱與側(cè)面保溫設(shè)計(jì)，使溶液溫度均勻性控制在±1℃以內(nèi)，溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋25℃至100℃，滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求！配備高精度溫度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測溶液溫度，當(dāng)溫度超出設(shè)定范圍時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)加熱或冷卻調(diào)節(jié)，確?；瘜W(xué)反應(yīng)平穩(wěn)進(jìn)行！設(shè)備適配不同規(guī)格的濕法工藝槽體，可根據(jù)槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率，為半導(dǎo)體濕法工藝的穩(wěn)定性與重復(fù)性提供保障！上海半導(dǎo)體晶圓加熱盤

無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)**，成績讓我們喜悅，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，無錫市國瑞熱控科技供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績而沾沾自喜，相反的是面對(duì)競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！