
2025-12-28 01:23:18
針對半導(dǎo)體晶圓研磨后的應(yīng)力釋放需求,國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩(wěn)定!采用鋁合金基體與柔性導(dǎo)熱墊層復(fù)合結(jié)構(gòu),導(dǎo)熱墊層硬度ShoreA30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞!溫度調(diào)節(jié)范圍30℃-150℃,控溫精度±0.8℃,支持階梯式升溫(每階段升溫5℃-10℃,保溫10-30分鐘),緩慢釋放晶圓內(nèi)部機(jī)械應(yīng)力!配備氮氣保護(hù)系統(tǒng),避免加熱過程中晶圓表面氧化,且加熱盤表面粗糙度Ra小于0.05μm,無顆粒劃傷晶圓風(fēng)險!與硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)、中環(huán)股份等晶圓廠商合作,使研磨后晶圓翹曲度降低20%以上,提升后續(xù)光刻、刻蝕工藝的良率!完善技術(shù)文檔提供,安裝指導(dǎo)詳細(xì)清晰,助您快速上手使用。重慶高精度均溫加熱盤定制

針對半導(dǎo)體制造中的高真空工藝需求,國瑞熱控開發(fā)**真空密封組件,確保加熱盤在真空環(huán)境下穩(wěn)定運行!組件采用氟橡膠與金屬骨架復(fù)合結(jié)構(gòu),耐溫范圍覆蓋-50℃至200℃,可長期在10??Pa真空環(huán)境下使用無泄漏!密封件與加熱盤接口精細(xì)匹配,通過多道密封設(shè)計提升真空密封性,避免反應(yīng)腔體內(nèi)真空度下降影響工藝質(zhì)量!組件安裝過程簡單,無需特殊工具,且具備良好的耐磨性與抗老化性能,使用壽命超5000次拆裝循環(huán)!適配CVD、PVD等真空工藝用加熱盤,與國產(chǎn)真空設(shè)備廠商的反應(yīng)腔體兼容,為半導(dǎo)體制造中的高真空環(huán)境提供可靠密封保障,助力提升工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率!松江區(qū)晶圓加熱盤非標(biāo)定制客戶需求為導(dǎo)向,快速響應(yīng)詢價定制,具有競爭力價格交期。

面向柔性半導(dǎo)體基板(如聚酰亞胺基板)加工需求,國瑞熱控**加熱盤以柔性貼合設(shè)計適配彎曲基板!采用薄型不銹鋼加熱片(厚度0.2mm)與硅膠導(dǎo)熱層復(fù)合結(jié)構(gòu),可隨柔性基板彎曲(彎曲半徑**小5mm)而無結(jié)構(gòu)損壞,加熱面溫度均勻性達(dá)±1.5℃,溫度調(diào)節(jié)范圍50℃-250℃,適配柔性基板鍍膜、光刻膠烘烤等工藝!配備真空吸附槽道,可牢固固定柔性基板,避免加熱過程中褶皺導(dǎo)致的工藝缺陷!與維信諾、柔宇科技等柔性顯示廠商合作,支持柔性O(shè)LED驅(qū)動芯片的制程加工,為柔性電子設(shè)備的輕量化、可彎曲特性提供制程保障!
國瑞熱控清洗槽**加熱盤以全密封結(jié)構(gòu)設(shè)計適配高潔凈需求,采用316L不銹鋼經(jīng)電解拋光處理,表面粗糙度Ra小于0.05μm,無顆粒脫落風(fēng)險!加熱元件采用氟塑料密封封裝,與清洗液完全隔離,耐受酸堿濃度達(dá)90%的腐蝕環(huán)境,電氣強(qiáng)度達(dá)2000V/1min!通過底部波浪形加熱面設(shè)計,使槽內(nèi)溶液形成自然對流,溫度均勻性達(dá)±0.8℃,溫度調(diào)節(jié)范圍25℃-120℃!配備防干燒與泄漏檢測系統(tǒng),與盛美上海等清洗設(shè)備廠商適配,符合半導(dǎo)體制造Class1潔凈標(biāo)準(zhǔn),為晶圓清洗后的表面質(zhì)量提供保障!模塊化設(shè)計,便于維護(hù)更換,減少停機(jī)提升產(chǎn)能。

國瑞熱控建立半導(dǎo)體加熱盤全生命周期服務(wù)體系,為客戶提供從選型咨詢到報廢回收的全流程支持!售前提供工藝適配咨詢,結(jié)合客戶制程需求推薦合適型號或定制方案;售中提供安裝調(diào)試指導(dǎo),確保加熱盤與設(shè)備精細(xì)對接,且提供操作培訓(xùn)服務(wù);售后提供7×24小時技術(shù)支持,設(shè)備故障響應(yīng)時間不超過2小時,維修周期控制在5個工作日以內(nèi),同時提供定期巡檢服務(wù)(每季度1次),提前排查潛在問題!此外,針對報廢加熱盤提供環(huán)?;厥辗?wù),對可回收材質(zhì)(如不銹鋼、鋁合金)進(jìn)行分類處理,符合**環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)!該服務(wù)體系已覆蓋國內(nèi)30余省市的半導(dǎo)體企業(yè),累計服務(wù)客戶超200家,以專業(yè)服務(wù)保障客戶生產(chǎn)線穩(wěn)定運行,構(gòu)建長期合作共贏關(guān)系!靈活功率配置可選,滿足不同溫度需求,應(yīng)用范圍廣泛多樣。涂膠顯影加熱盤定制
重視客戶反饋,持續(xù)改進(jìn)產(chǎn)品服務(wù),體驗專業(yè)貼心。重慶高精度均溫加熱盤定制
國瑞熱控金屬加熱盤突破海外技術(shù)壁壘,實現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品量產(chǎn)能力!采用不銹鋼精密加工一體化成型,通過五軸聯(lián)動機(jī)床制造螺紋斜孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu),加熱面粗糙度Ra小于0.1μm!內(nèi)置螺旋狀不銹鋼加熱元件,經(jīng)真空焊接工藝與基體緊密結(jié)合,熱效率達(dá)90%,升溫速率25℃/分鐘,工作溫度范圍室溫至500℃!設(shè)備具備1000小時無故障運行能力,通過國內(nèi)主流客戶認(rèn)證,可直接替換進(jìn)口同類產(chǎn)品,在勻氣盤集成等場景中表現(xiàn)優(yōu)異,助力半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件國產(chǎn)化!重慶高精度均溫加熱盤定制
無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗,在發(fā)展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及客戶資源,在業(yè)界也收獲了很多良好的評價,這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評價對我們而言是**好的前進(jìn)動力,也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!