
2025-12-26 00:34:53
國瑞熱控金屬加熱盤突破海外技術(shù)壁壘,實現(xiàn)復雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品量產(chǎn)能力!采用不銹鋼精密加工一體化成型,通過五軸聯(lián)動機床制造螺紋斜孔等復雜結(jié)構(gòu),加熱面粗糙度Ra小于0.1μm!內(nèi)置螺旋狀不銹鋼加熱元件,經(jīng)真空焊接工藝與基體緊密結(jié)合,熱效率達90%,升溫速率25℃/分鐘,工作溫度范圍室溫至500℃!設備具備1000小時無故障運行能力,通過國內(nèi)主流客戶認證,可直接替換進口同類產(chǎn)品,在勻氣盤集成等場景中表現(xiàn)優(yōu)異,助力半導體設備精密零部件國產(chǎn)化!便于自動化集成,標準接口通訊支持,助力智能制造。閔行區(qū)加熱盤定制

面向半導體實驗室研發(fā)場景,國瑞熱控小型加熱盤以高精度與靈活性成為科研得力助手!產(chǎn)品尺寸可定制至10cm×10cm,適配小規(guī)格晶圓與實驗樣本的加熱需求,溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋室溫至500℃,**小調(diào)節(jié)精度達1℃!采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合,控溫穩(wěn)定性達±0.5℃,滿足材料研發(fā)中對溫度參數(shù)的精細控制!設備支持USB數(shù)據(jù)導出功能,可實時記錄溫度變化曲線,便于實驗數(shù)據(jù)追溯與分析!整體采用便攜式設計,重量*1.5kg,且具備過熱保護功能,當溫度超過設定閾值時自動斷電,為半導體新材料研發(fā)、工藝參數(shù)優(yōu)化等實驗工作提供可靠溫控工具!閔行區(qū)加熱盤定制適用半導體、**、科研等多個領域,是您理想的加熱解決方案。

國瑞熱控氮化鋁陶瓷加熱盤以99.5%高純氮化鋁為基材,通過干壓成型與1800℃高溫燒結(jié)工藝制成,完美適配半導體高溫工藝需求!其熱導率可達220W/mK,熱膨脹系數(shù)*4.03×10??/℃,與硅晶圓熱特性高度匹配,有效避免高溫下因熱應力導致的晶圓翹曲!內(nèi)部嵌入鎢制加熱元件,經(jīng)共燒工藝實現(xiàn)緊密結(jié)合,加熱面溫度均勻性控制在±1℃以內(nèi),工作溫度上限提升至800℃,遠超傳統(tǒng)鋁合金加熱盤的450℃極限!表面經(jīng)精密研磨拋光處理,平面度誤差小于0.01mm,可耐受等離子體長期轟擊無損傷,在晶圓退火、氧化等高溫工藝中表現(xiàn)穩(wěn)定,為國產(chǎn)替代提供高性能材質(zhì)解決方案!
國瑞熱控依托10余年半導體加熱盤研發(fā)經(jīng)驗,提供全流程定制化研發(fā)服務,滿足客戶特殊工藝需求!服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產(chǎn)五大環(huán)節(jié),可根據(jù)客戶提供的工藝參數(shù)(溫度范圍、控溫精度、尺寸規(guī)格、環(huán)境要求等),定制特殊材質(zhì)(如高純石墨、氮化硅陶瓷)、特殊結(jié)構(gòu)(如多腔體集成、異形加熱面)的加熱盤!配備專業(yè)研發(fā)團隊(含材料學、熱力學、機械設計工程師),采用ANSYS溫度場仿真軟件優(yōu)化設計方案,原型樣品交付周期**短10個工作日,且提供3次**方案迭代!已為國內(nèi)多家半導體設備廠商定制**加熱盤,如為某企業(yè)開發(fā)的真空腔體集成加熱盤,實現(xiàn)加熱與勻氣功能一體化,滿足其特殊制程的空間限制需求!嚴格老化測試性能檢驗,確保產(chǎn)品零缺陷,品質(zhì)有保障。

針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求,國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩(wěn)定!采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結(jié)構(gòu),導熱墊層硬度ShoreA30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞!溫度調(diào)節(jié)范圍30℃-150℃,控溫精度±0.8℃,支持階梯式升溫(每階段升溫5℃-10℃,保溫10-30分鐘),緩慢釋放晶圓內(nèi)部機械應力!配備氮氣保護系統(tǒng),避免加熱過程中晶圓表面氧化,且加熱盤表面粗糙度Ra小于0.05μm,無顆粒劃傷晶圓風險!與硅產(chǎn)業(yè)集團、中環(huán)股份等晶圓廠商合作,使研磨后晶圓翹曲度降低20%以上,提升后續(xù)光刻、刻蝕工藝的良率!電熱轉(zhuǎn)換效率高,降低運營成本,實現(xiàn)綠色生產(chǎn)。涂膠顯影加熱盤定制
重視客戶反饋,持續(xù)改進產(chǎn)品服務,體驗專業(yè)貼心。閔行區(qū)加熱盤定制
國瑞熱控高真空半導體加熱盤,專為半導體精密制造的真空環(huán)境設計,實現(xiàn)無污染加熱解決方案!產(chǎn)品采用特殊密封結(jié)構(gòu)與高純材質(zhì)制造,所有部件均經(jīng)過真空除氣處理,在10??Pa高真空環(huán)境下無揮發(fā)性物質(zhì)釋放,避免污染晶圓表面!加熱元件采用嵌入式設計,與基材緊密結(jié)合,熱量傳遞損耗降低30%,熱效率***提升!通過內(nèi)部溫度場模擬優(yōu)化,加熱面均溫性達±1℃,適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景!設備可耐受反復升溫降溫循環(huán),在-50℃至500℃溫度區(qū)間內(nèi)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,為高真空環(huán)境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障!閔行區(qū)加熱盤定制
無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業(yè)領域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創(chuàng)新的市場高度,多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標準,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)**,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,勇于進取的無限潛力,無錫市國瑞熱控科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!