在半導(dǎo)體行業(yè)中，羅茨真空泵是芯片制造和封裝測(cè)試環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備。該環(huán)節(jié)對(duì)真空度、穩(wěn)定性和潔凈度要求極高，羅茨泵無(wú)油污染的特點(diǎn)可避免芯片被油蒸汽污染，穩(wěn)定的抽速能保證工藝環(huán)境真空度恒定，通常需搭配高真空前級(jí)泵組成機(jī)組，用于薄膜沉積、離子注入等**工序。化工行業(yè)中，羅茨泵廣泛應(yīng)用于物料輸送、混合及干燥過程。針對(duì)化工生產(chǎn)中的腐蝕性氣體，可采用耐腐蝕材質(zhì)制造的泵體，其大抽速特性能快速建立反應(yīng)所需的真空環(huán)境，縮短反應(yīng)周期。在真空蒸餾工藝中，它能有效降低物料沸點(diǎn)，避免熱敏性物質(zhì)分解，提升產(chǎn)品質(zhì)量和收率。羅茨真空泵振動(dòng)小，減少對(duì)周邊設(shè)備的影響。浙江進(jìn)口羅茨真空泵推薦品牌

羅茨真空泵的轉(zhuǎn)子呈“8”字形，通過齒輪驅(qū)動(dòng)反向同步旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與泵殼、轉(zhuǎn)子之間保持微小間隙，氣體從進(jìn)氣口被吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼形成的封閉空間內(nèi)，隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，氣體被“裹挾”至排氣口方向。當(dāng)封閉空間與排氣口連通時(shí)，外部高壓氣體返沖入腔體，推動(dòng)氣體排出泵外，如此循環(huán)實(shí)現(xiàn)連續(xù)抽氣。由于轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子與泵殼間無(wú)接觸，泵腔內(nèi)氣體無(wú)壓縮過程，因此羅茨泵需與前級(jí)泵（如水環(huán)泵、油封泵）串聯(lián)使用，前級(jí)泵將入口壓力降至羅茨泵允許范圍，羅茨泵才能正常工作。江蘇羅茨真空泵故障羅茨真空泵抽氣范圍廣，適配不同真空度要求。

為滿足半導(dǎo)體、電子工業(yè)等對(duì)無(wú)油清潔真空的需求，干式羅茨真空泵發(fā)展迅速，其中多級(jí)羅茨真空泵為主流，美日等國(guó)已開發(fā)系列產(chǎn)品應(yīng)用于相關(guān)工業(yè)。“多級(jí)” 指在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級(jí)羅茨型轉(zhuǎn)子，各級(jí)由中間壁隔離形成**泵腔，通過氣流通道連接，各級(jí)轉(zhuǎn)子直徑和形狀相同，寬度向高壓側(cè)可能變窄，常采用氣冷式三葉轉(zhuǎn)子增加壓縮比。被抽氣體從***級(jí)進(jìn)氣口進(jìn)入，經(jīng)逐級(jí)壓縮后從***一級(jí)排氣口排出，理論抽速取決于***級(jí)，卻能實(shí)現(xiàn)高壓縮比，可直排大氣無(wú)需前級(jí)泵，避免油氣污染。3-6 級(jí)羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力 1Pa，高壓力差可能導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱，需在高壓段氣冷控制溫度，冷卻氣體返流會(huì)損失抽速。為防止?jié)櫥头盗?，泵腔與齒輪箱需隔離或密封，齒輪箱也可另設(shè)真空泵排氣，多級(jí)羅茨泵在無(wú)油清潔真空領(lǐng)域具有重要地位和廣闊應(yīng)用前景。

羅茨真空泵使用中可能出現(xiàn)多種故障，需針對(duì)性處理。極限壓力達(dá)不到時(shí)，可能是管道或系統(tǒng)漏氣，需進(jìn)行系統(tǒng)檢漏；也可能是泵體本身漏氣，要對(duì)泵檢漏；前級(jí)泵極限壓力下降需修理或更換前級(jí)泵；潤(rùn)滑油太臟或牌號(hào)不對(duì)應(yīng)及時(shí)調(diào)換；機(jī)械密封磨損則需更換其易損件。抽速不足常見原因是管道通道能力不夠，需增大通道能力；前級(jí)泵抽速下降時(shí)，同樣要修理或更換前級(jí)泵。電動(dòng)機(jī)過載可能因入口壓力過高，需調(diào)整控制入口壓力；轉(zhuǎn)子端面與端蓋單面接觸，要調(diào)整轉(zhuǎn)子端面間隙；前級(jí)泵返油進(jìn)入羅茨泵泵腔，需裝置防返油設(shè)備。泵體過熱可能是前級(jí)泵抽速不夠?qū)е聣嚎s比過大，需重新選用前級(jí)泵；入口壓力過高要調(diào)整控制；冷卻不良需暢通并加大冷卻水；齒輪箱潤(rùn)滑油過多應(yīng)調(diào)整油量；轉(zhuǎn)子與泵殼接觸需修整；齒輪、軸承、軸封潤(rùn)滑不良，要保證油量適當(dāng)、潤(rùn)滑良好。聲音異?？赡芤蜓b配不良，需重新裝配；導(dǎo)向齒輪與轉(zhuǎn)子位置偏移使轉(zhuǎn)子相碰，要調(diào)整位置保證間隙；入口壓力過高需調(diào)整控制；過載或潤(rùn)滑不良造成齒輪損傷，應(yīng)調(diào)換齒輪；軸承磨損則需調(diào)換軸承。軸承、齒輪早期磨損嚴(yán)重，多是潤(rùn)滑油不良或不足，需調(diào)換或補(bǔ)充潤(rùn)滑油。羅茨泵主要尺寸由實(shí)際抽速確定，需結(jié)合多種參數(shù)計(jì)算。

碳化硅外延工藝需在超潔凈低壓環(huán)境中進(jìn)行，羅茨真空泵的無(wú)油污染與精細(xì)控壓特性使其成為**設(shè)備。在外延爐預(yù)處理階段，其與分子泵串聯(lián)使用，可將爐內(nèi)真空度提升至 10??Pa，抽除襯底表面吸附的氧、氮雜質(zhì)，保障外延層質(zhì)量。外延生長(zhǎng)階段，羅茨真空泵能精確控制反應(yīng)室壓力在 1-10Pa，配合氣體流量控制系統(tǒng)，實(shí)時(shí)抽除未反應(yīng)的硅烷、氫氣等原料氣體，避免多余氣體沉積影響外延層厚度均勻性。對(duì)于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延，其 1200L/s 的超大抽速可實(shí)現(xiàn)反應(yīng)氣體快速置換，縮短工藝周期；其 IoT 傳感器還能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)抽氣速率與壓力變化，實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維護(hù)，減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。羅茨真空泵在新能源行業(yè)，推動(dòng)電池生產(chǎn)工藝優(yōu)化。浙江進(jìn)口羅茨真空泵推薦品牌

羅茨真空泵體積小巧，適合空間有限的生產(chǎn)車間。浙江進(jìn)口羅茨真空泵推薦品牌

羅茨真空泵在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，啟動(dòng)快，能立即工作。對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感，轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油，振動(dòng)小，驅(qū)動(dòng)功率小，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。這些特點(diǎn)使其在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)等部門得到廣泛應(yīng)用。羅茨真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所，環(huán)境溫度為5-40℃，需水平安裝，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)和拆裝。接通電源后，電機(jī)轉(zhuǎn)向應(yīng)符合泵上轉(zhuǎn)向箭頭所示。連接被抽容器的管道應(yīng)清潔，無(wú)雜質(zhì)等異物，孔徑不應(yīng)小于泵口口徑，長(zhǎng)度宜短，以保證足夠的通導(dǎo)能力，管道連接應(yīng)密封不漏。
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