激光切割技術利用激光器發(fā)出的強度高的激光束，通過聚焦透鏡將激光能量集中在極小的光斑上，當光斑照射到材料表面時，使材料迅速加熱至汽化溫度，蒸發(fā)形成孔洞。隨著激光束的移動，并配合輔助氣體吹走熔化的廢渣，孔洞連續(xù)形成寬度很窄的切縫，完成對材料的切割。這一過程具有無接觸式加工、效率高、切縫小、熱影響區(qū)域小等優(yōu)點，特別適用于金剛石等硬脆材料的加工。在金剛石加工方面，激光切割技術主要應用在金剛石薄片的切割、金剛石刀具的制造以及金剛石半導體材料的加工等方面。金剛石的高硬度和高導熱性對激光切割提出了高要求，而短脈沖和超短脈沖激光技術的發(fā)展，則明顯降低了熱影響區(qū)，提高了切割精度。通過精確控制激光束的聚焦和掃描模式，可以實現(xiàn)金剛石材料的高精度切割，明顯提高了材料的利用率。

在半導體檢測中，激光器主要用于以下幾個方面：1.微觀特征檢測：現(xiàn)代集成電路包含極其微小的晶體管和特征，激光的精確聚焦能力使其成為測量這些微小結(jié)構(gòu)的理想工具。通過使用激光干涉技術，可以精確測量半導體特征的尺寸，如寬度和高度。這種高精度的測量對于確保電子設備的正常運行至關重要。2.光致發(fā)光分析：激光器還可以用于光致發(fā)光分析，通過激發(fā)半導體材料使其發(fā)出自己的光。這種技術能夠揭示材料的性質(zhì)和缺陷，幫助檢測人員及時發(fā)現(xiàn)潛在的質(zhì)量問題。3.表面粗糙度分析：半導體材料的表面平滑度對設備性能有重要影響。激光可用于分析半導體材料的表面粗糙度，即使表面平滑度有輕微變化，也會影響設備性能。因此，通過激光檢測可以確保材料表面的均勻性和一致性。4.晶圓計量：在半導體制造過程中，晶圓計量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的重要步驟。激光器可用于測量晶圓上關鍵特征的關鍵尺寸，如寬度和高度。這種精確的測量有助于在制造過程中盡早發(fā)現(xiàn)缺陷，避免后續(xù)步驟中的浪費。